Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan perangkat pembelajaran terintegrasi STEM melalui model Inkuiri Terbimbing untuk meningkatkan kemampuan berfikir kreatif peserta didik. Metode pengembangan yang digunakan dalam peneltian ini adalah metode ADDIE yang terdapat 5 tahapan yaitu Analysis, Design, Development, Implementation and Evaluation. Desain penelitian yang digunakan adalah one group pretest-postest design. Subjek uji coba adalah kelas X-IPA 3 SMA Negeri 4 Banda Aceh. Teknik pengumpulan data yang digunakan dalam penelitian ini adalah angket kelayakan perangkat pembelajaran oleh ahli materi dan STEM dan tes uraian (pretest-posttest). Data angket kelayakan dan respon peserta didik dianalisis dengan analisis deskriptif (persentase) dan data hasil tes dianalisis dengan uji t-test dan N-gain score. Hasil penelitian menunjukan bahwa penilaian terhadap perangkat yang dikembangkan memperoleh kategori layak dan hasil uji statistik setelah menggunakan perangkat yang dikembangkan memperoleh nilai t_(hitung )>t_tabel yaitu 14,04 > 2,75, artinya pengembangan perangkat pembelajaran tersebut berpengaruh terhadap peningkatan kemampuan berfikir kreatif peserta didik. Peningkatan tersebut dapat terlihat dari perolehan N-gain score masing masing indikator kemampuan berfikir kreatif, yaitu : Originally mengalami peningkatan pada kategori sedang, Fluency mengalami peningkatan pada kategori tinggi, Elaboration mendapatkan peningkatan pada sedang dan Flexibility meningkat pada kategori sedang.