ABSTRAK Telah dilakukan karakterisasi lapisan tipis titanium oksida (TiO2) yang ditumbuhkan dengan metode sol gel spin coating. Penelitian ini bertujuan untuk menganalisa pengaruh perlakuan panas (anil) terhadap fasa kristal, struktur morfologi permukaan, dan nilai transmitansi optik lapisan tipis titanium oksida (TiO2). Lapisan tipis titanium oksida (TiO2) dibuat diatas substrat kaca preparat menggunakan metode sol gel spin coating. Serbuk titanium oksida (TiO2) dicampur dengan etanol dan dilakukan pengadukan menggunakan magnetik stirrer selama 30 menit. Proses deposisi dilakukan dengan menggunakan spin coating dengan kecepatan putaran diatur pada tegangan 3,5 V dan 4,5 V selama ± 2 menit. Lapisan tipis yang dihasilkan dikarakterisasi menggunakan XRD, SEM dan UV-Vis. Hasil penelitian dapat dilihat bahwa variasi temperatur pada penelitian ini tidak mempengaruhi fasa kristal lapisan tipis titanium oksida. fasa yang muncul pada lapisan tipis titanium oksida (TiO2) adalah fasa anatase. Namun variasi temperatur mempengaruhi Ukuran kristal lapisan tipis titanium oksida (TiO2). Ukuran kristal semakin besar ketika temperatur pemanasan semakin tinggi. Hasil karakterisasi SEM menunjukkan struktur morfologi permukaan lapisan tipis titanium oksida (TiO2) semakin merata ketika temperatur pemanasannya semakin tinggi. Spektrum UV-Vis menunjukkan nilai transmitansi optik tidak begitu berbeda pada setiap penambahan temperatur pemanasan. Nilai transmitansi lapisan tipis titanium oksida (TiO2) sekitar 0,06%-0,08%. Kata Kunci : Lapisan tipis titanium oksida (TiO2), sol gel spin coating, temperatur anil.