Abstrak telah dilakukan karakterisasi lapisan tipis titanium oksida (tio2) yang ditumbuhkan dengan metode sol gel spin coating. penelitian ini bertujuan untuk menganalisa pengaruh perlakuan panas (anil) terhadap fasa kristal, struktur morfologi permukaan, dan nilai transmitansi optik lapisan tipis titanium oksida (tio2). lapisan tipis titanium oksida (tio2) dibuat diatas substrat kaca preparat menggunakan metode sol gel spin coating. serbuk titanium oksida (tio2) dicampur dengan etanol dan dilakukan pengadukan menggunakan magnetik stirrer selama 30 menit. proses deposisi dilakukan dengan menggunakan spin coating dengan kecepatan putaran diatur pada tegangan 3,5 v dan 4,5 v selama ± 2 menit. lapisan tipis yang dihasilkan dikarakterisasi menggunakan xrd, sem dan uv-vis. hasil penelitian dapat dilihat bahwa variasi temperatur pada penelitian ini tidak mempengaruhi fasa kristal lapisan tipis titanium oksida. fasa yang muncul pada lapisan tipis titanium oksida (tio2) adalah fasa anatase.