Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui peningkatan keterampilan proses sains dan motivasi belajar siswa pada materi sifat-sifat cahaya setelah menerapkan model pembelajaran inkuiri terbimbing. Hipotesis yang dirumuskan dalam penelitian ini adalah penerapan model pembelajaran inkuiri terbimbing dapat meningkatkan keterampilan proses sains dan motivasi belajar siswa pada materi sifat-sifat cahaya. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah eksperimen semu (quasi-exsperimental research). Desain penelitian yang digunakan dalam penelitian ini adalah one group pretest posttest design. Populasi dari penelitian ini adalah seluruh siswa kelas V SD Negeri 37 Banda Aceh tahun ajaran 2014/2015 yang berjumlah 30 siswa. Sampel dalam penelitian ini adalah seluruh populasi dijadikan sampel. Kelas V dijadikan sebagai kelompok eksperimen yang dikenai model pembelajaran inkuiri terbimbing. Pada awal pembelajaran diberi pretest dan akhir pembelajaran diberi posttes dengan menggunakan instrumen yang sama. Teknik pengumpulan data dalam penelitian ini adalah dengan tes dan angket, teknik pengolahan data menggunakan statistik uji-t. Berdasarkan hasil uji normalitas dan homogenitas data diperoleh bahwa data keduanya normal dan homogen. Dari hasil perhitungan untuk keterampilan proses sains diperoleh thitung = 29,127 sedangkan nilai ttabel = 1,683 dan hasil perhitungan untuk motivasi belajar siswa diperoleh thitung = 7,427 sedangkan nilai ttabel = 1,683. Oleh karena thitung > ttabel maka Ho ditolak dan terima Ha. Jadi dapat disimpulkan bahwa penerapan model pembelajaran inkuiri terbimbing dapat meningkatkan keterampilan proses sains dan motivasi belajar siswa pada materi sifat-sifat cahaya. Kata kunci: Inkuiri terbimbing, keterampilan proses sains, motivasi belajar siswa, sifat-sifat cahaya.