Perlakuan panas terhadap suatu material sangat mempengaruhi karakteristik material tersebut. pada penelitian ini telah dilakukan studi pengaruh temperatur annealing terhadap karakteristik lapisan tipis bifeo3. penelitian ini bertujuan untuk menumbuhkan lapisan tipis bifeo3 dengan menggunakan metode sol gel spin coating dan selanjutnya dipelajari pengaruh temperatur annealing terhadap karakteristik optik, morfologi permukaan, dan fasa kristal. pembuatan lapisan tipis menggunakan serbuk bi(no3)3 dan fe(no3)3 yang dicampur dengan asam asetat sebagai pelarut. temperatur annealing yang digunakan adalah sebesar 300°c, 400°c, 500°c dan 600°c. sampel dikarakterisasi menggunakan xrd, afm, eds, sem, dan uv-vis. hasil xrd menunjukkan pada temperatur 300°c dan 400°c belum terbentuk fasa kristal bifeo3. sementara pada suhu 500°c dan 600°c sudah mulai terlihat adanya puncak bifeo3 namun masih banyak terdapat pengotor di dalamnya. hasil ini diperkuat oleh karakterisasi menggunakan eds. ukuran